设备特点：
HV低真空吸尘系统，本系统采用负压吸收无尘室内产生的固体颗粒粉尘，再通过管道输送到室外收集粉尘、净化空气，从而达到无尘室的洁净度。
含粉尘的空气由风管进入HV，经滤材过滤后吸入风机，干净空气由烟囱排放到大气。收集下来的灰尘落入集尘桶。
